四靶PVD型号:上海纳晶MPP550IV型；​主要指标:样品4英寸;靶材2英寸，四靶共溅射。三靶PVD型号:上海纳晶MPP550Ⅲ型；​主要指标:样品4英寸;靶材2英寸;三靶共溅射。光盘PVD型号:上海福宜FE-F-500型；​主要指标:样品5英寸;靶材4英寸;三靶共溅射。

型号:美国8000M Mixer/Mill型​;主要指标:研磨样品容量10-60ml，转速1725 rpm

天津云帆YFSP-T型;​主要指标:电压调节精度±0.01 kV，推进速度0.1um/s⁓0.3 mm/s可调，自动温控

型号:上海纳晶VR400Ⅲ型；主要指标:样品4英寸;衬底加温范围室温-300℃

型号:日本THINKY公司ARE-310型；主要指标:最大公转速度2200 rpm;最大处理容量:250ml。