仪器平台

实验平台概述

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围绕信息存储、储能技术、气体传感器等领域开展基础研究的需求,建立纳米光电材料与器件实验平台,涉及千级半导体超净室实验平台和化学合成与测试平台,具体材料制备、器件加工和性能测试设备包括:

[1].材料制备与合成设备:物理气相沉积(PVD)、热阻蒸发仪、脱泡机、静电纺丝机、高能球磨机等;

[2].器件加工设备:紫外光刻机、电子束曝光机(EBL)、反应离子刻蚀机(RIE)、激光直写装置、超纯去离子水系统、手套箱、光盘匀胶固化机等;

[3].材料与器件测试设备:半导体参数分析仪、探针台、皮秒激光器、探针冷热台(R-T)、原子力显微镜(AFM)、传感器测试系统、光催化测试装置、电催化测试装置、电化学工作站、蓝电电池测试系统、电池测试一体式恒温测试箱、气相色谱仪、紫外可见光谱仪、枝晶显微镜、膜厚仪、光学显微镜等;

[4].化学合成与工艺辅助设备:通风柜、分析天平、化学合成装置、鼓风干燥箱、冷冻干燥机、真空干燥箱、离心机、压片机、管式炉、马弗炉、超声细胞粉碎机、超声装置等。


围绕新型电池的核心材料及其组装和测试,建立了苏州科技大学材料科学与工程学院新能源材料与器件研发平台,主要涉及合浆、涂布、辊压、分切、超焊、真空烘烤、卷绕、冲坑、顶侧封、注液、化成、真空封口、安全测试等电池中试模块,可用于软包电池、圆柱电池和全固态电池的材料与器件研发。具体设备包括:行星搅拌机、转移涂布机、液压对辊机、自动裁片机、电动分条机、模切机、叠片机、侧封机、真空预封机、切边机、卧式热压化成机、超声波焊接机、圆柱滚槽机、圆柱负极点焊机、圆柱电池封口机、半自动卷绕机、铝塑膜成型机、柱塞泵精密注液机、高低温箱、防爆箱、水份分析仪、纽扣、软包、柱状电池测试系统、干燥间、手套箱联立系统、挤压针刺跌落一体机等。






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