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    PVD

    四靶PVD


    型号：上海纳晶MPP550IV型
    主要指标：样品4英寸；靶材2英寸；四靶共溅射




    三靶PVD

    型号：上海纳晶MPP550Ⅲ型
    主要指标：样品4英寸；靶材2英寸；三靶共溅射




    光盘PVD

    型号：上海福宜FE-F-500型
    主要指标：样品5英寸；靶材4英寸；三靶共溅射


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