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    EBL

    EBL

    型号：日本电子JSM-IT100型SEM+图形发生器
    主要指标: 极限线宽，拼接场内：100 nm；图形套刻与拼接精度：<20nm


    地址：江苏省苏州市虎丘区学府路99号  邮编：215009
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